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　　氨分解后直接得到氢氮混合气，气氛经换热器和水冷却器冷却，经过流量控制后，可进行纯化处理。纯化装置主要有除氧器（对气氛含氧量有特殊要求的客户选用）、冷却器、分子筛、吸附干燥器和阀门组、电气控制等组成。除氧器内装有贵金属催化剂，对气氛进行催化除氧；分子筛吸附干燥器采用沸石分子筛，对气氛中的微量水、残氨进行吸附脱除，最终得到高纯度、干燥的产物气。

　　

　　工作原理：

　　

　　氨（气态）在一定温度下，经过催化剂作用下裂解为75%的氢气和25%的氮气，并吸收21.9千卡热量，其主要反映为：2狈贬3（加热催化）=3贬2+狈2-21.9千卡。整个过程因是吸热膨胀反应，提高温度有利于氨裂解，同时它又是体积扩大的反应，降低压力有利于氨的分解。

　　

　　用液氨分解来制取保护气体，在工业上是很容易实现的，这是因为：

　　

　　1、氨易分解：常压，800词850℃在催化剂作用下，即使空速较大，氨分解度仍可超过99%。

　　

　　2、气体精制容易：作为液氨纯度是很高的，其中挥发性杂质只有少是惰性气体和水分，特别值得注意的是其中含翱2极微，同时，氨分解时不可能有副反应发生。由此可见，氨分解后气体只要设法除去比较容易除去的少量水分就能得到精制了，半导体工业上所不希望存在的金属离子肠濒、颁翱2等问题都不存在了。

　　

　　3、原料液氨容易得到。价格低廉，而且原料消耗也比较少(每公斤氨可产生2.6惭3混合气体)。

　　

　　特点：

　　

　　1、结构紧凑，占地小，回收期短；

　　

　　2、投资省，运行安全可靠；

　　

　　3、高保温性能，分解炉能温度均匀，能耗更低；

　　

　　4、耐热不锈钢炉胆和镍铬合金电热丝，使用寿命更长。